在芯片行业有个摩尔定律,它是由英特尔创始人之一的戈登.摩尔提出来的,内容为:

当价格不变时,集成电路上所能容纳的晶体管数目每隔大约18到24个月就会增加一倍,性能也将提升一倍。

而进入2002年后,业内人士一致认为,摩尔定律怕是要失效了。

这时全球芯片行业开始进入瓶颈期,光刻机的光源波长卡在193nm,芯片的制程也止步在65nm。

这对光刻机等设备制造商来说,几乎是致命性的打击。

芯片制程两年突破一个台阶,是因为技术引领下的光刻设备的进步,每一次进步和突破都意味着巨大的商机。

现在技术止步不前,就等于产品无法更新换代,企业营收就无法保证。

SVG也正是因为前期投入巨资进行科研,而无法取得实质性成果,这才导致被出售的结局。

芯片制程,可以理解为集成电路内电路之间的距离,通常来说,制程节点越小,意味着晶体管越小、速度越快、能耗表现越好。

1992年,芯片制程的工艺节点达到了500纳米,1995年350纳米,1997年200纳米,1999年140纳米,2001年实现了65纳米。

此时全球光刻机巨头尼康、佳能、阿斯麦以及已经被阿斯麦和安美森收购的SVG,都在执着于用157纳米波长的光源,在“干式”光刻技术上寻求突破。

阿斯麦和SVG加入的EUVLLC联盟,对极紫外光源有了一定的研究成果,但这种波长只有13.5纳米的光源真正用到光刻机上还有一个漫长的过程。

业内人士坚持认为,在光刻技术“摩尔定律”上,157纳米的光源、“干式”光刻技术,就是唯一的赛道。

而林古峰不这么认为,特别是在安美森和阿斯麦联合收购了SVG后,林谷峰亲自跟进了光源项目研究小组的进度,更加感到157纳米波长的光,不适用于光刻领域。

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